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泄漏部位是真空泵还是管道，由于两者采取的措施不同，检测真空增压泵的方法如下：1。将真空增压泵与其管路分开，用真空计直接测量真空增压泵的入口。如果真空增压泵达到使用标准，泵泄漏的可能性就消除了；2.管道检查的方法：将管道或某一段管道取下，将一端连接到气密泵上，用真空计测量另一端。通过这种方法，可以识别泄漏点；3.金属真空系统中容易漏气的部位有：焊缝的启闭部位、两条焊缝的相交处、波纹管的焊接部位、管接头的焊缝、受运动影响的钎焊焊缝。法兰或动态密封，如果在安装前仔细清洗并正确组装，将不会轻易泄漏；4.金属-陶瓷和金属-玻璃密封件，如引出电极、测量管的高压引线、插针、管帽等。受冷热冲击影响的焊缝。
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